產品敘述

真空度愈高，在洩漏量之穩定性 （真空度保持能力）、密封材使用壽命等方面就需要具備更高階的技術。HVB系列於閥座外型、密封材質及表面處理等方面引進特殊技術，讓產品即使在高真空環境下，仍能發揮穩定的性能，適用於電子束加工機、分子加速器、真空蒸鍍等各種真空裝置。HVL系列已內置能使舊型高真空用電磁閥在閥開動作時預留數秒間隔的附加元件，是一款可以避免各種真空裝置停電時發生故障的電磁閥。可避免停電狀態下空氣排放至大氣中，或是停電後忘記將手動閥開放，以致油回灌至配管中等問題發生。

產品特色

採用特殊的墊圈材質為FKM，密封壽命更長。高耐腐蝕主體採用不鏽鋼。真空度保持能力更佳洩漏量極小，真空度保持能力更穩定。適用背壓（逆真空）

※部分機種除外容易維護結構簡單，維護更輕鬆。

應用行業別

各類自動化設備，LCD、LCD、半導體相關設備。

官方連結

Introduction